深圳矽电实现晶圆“体检”设备国产化

深圳矽电实现晶圆“体检”设备国产化
杨阳腾深圳矽电完结晶圆“体检”设备国产化4392117要点重视  芯片是智能制作的“大脑”。怎么保证其正常工作?产前“体检”必不可少。半导体检测设备作为芯片出产过程中的重要东西,就犹如芯片的“体检医师”,在芯片出产阶段,会对产品的技能参数逐一查看,只要成功通过测验的产品型号方可量产。  矽电半导体设备(深圳)股份有限公司作为我国最早研制、规划最大的探针台出产企业,多年来一直坚持自主立异,致力于推动高精细半导体设备国产化,现在已研制出一系列到达世界前沿技能标准的全主动测验探针台,多项中心技能填补了国内相关范畴技能空白,并已开展成为能与世界同业竞赛的企业。  矽电公司总经理王成功介绍,矽电公司自23年建立以来就以晶圆片探针台为着力点,在晶圆片半主动探针测验台项目研制上首先打破技能关键环节,并完结了工业化。  走进矽电公司研制部门,研制人员正忙于测验各类芯片技能指标及调试检测设备。王成功告知记者:“咱们的中心技能是探针测验技能,简略来说是一种测验办法。晶圆片单一晶粒的尺度都十分小,其丈量触摸面直径一般只要5微米,相当于头发丝断面的三分之二巨细,测验都必须在显微镜下完结。在电路测验中咱们一方面要通过检测设备给电路运送信号,另一方面要把信号接出来。这就需求探针精准对接每一个丈量触点。”  王成功告知记者,探针台担任晶圆的运送与定位,使晶圆上的晶粒顺次与探针触摸并逐一测验。它能够将参数特性不符合要求的芯片记录下来,便于在后道工序之前及时将其除掉,这样就有效地提高了后道出产的成品率,降低了器材的制作本钱。探针台归于半导体设备范畴的高精尖设备,是集成电路工业开展的中心专用设备,职业技能壁垒较高,在设备的精度、可靠性、视觉智能多体系拟合、测验工艺方面均有十分苛刻的要求,是对出产厂商在工艺、技能、出产流程等方面的归纳检测。  推动探针台设备完结国产化代替是矽电公司一直以来的开展方针。“职业中竞赛对手尽管不多,但很多人不愿意做,由于这个东西太费力。”王成功坦言,“22年开端,我与别的3位合伙人启动了晶圆测验探针台的研制。本来看似简略的东西,在进入研制后才发现其间触及的细节与技能太多了。咱们很屡次都差点坚持不下来。”  “为了保证技能的不断更新,公司的各项资源都会优先保证技能研制,咱们每年研制投入占总营收的9%左右。”王成功表明,通过多年开展,矽电公司已逐步把握了包含高精度快呼应大行程精细步进技能、定位精度协同操控、探针卡主动对针技能、晶圆主动上下片技能、根据智能算法的机器视觉、电磁兼容性规划技能等多项探针台设备研制中心技能。一起,矽电公司可根据温控、高压、磁场及辐射等不同的环境需求,供给芯片检测一条龙解决方案。到219年末,公司已获得国内外授权专利111项、软件著作权36项。  得益于不断开拓立异,矽电公司已生长为现在国内少量具有批量规划及出产各种规格探针台、晶粒及晶圆外表查看设备、晶粒拾取及选择体系等晶粒级处理设备的企业。王成功表明,跟着晶圆从6英寸到8英寸再到现在12英寸的开展,探针台也阅历了从手动、半主动到全主动的开展进程。现在,在半导体范畴,矽电公司相继推出了对应不同集成电路范畴的探针台产品;在LED范畴,矽电公司自行研制的倒装芯片全主动探针台、正装芯片全主动探针台以及全主动抽测探针台组成了光电半导体系列探针台产品。一起,矽电公司也应市场需求及时推出了VCSEL芯片探针测验体系及VCSEL模组测验体系、笔直红外光电芯片测验机及全主动晶圆镜检机等产品,丰厚了公司的产品线。

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